Description

Semigroup Part Number SG02-10387-01-BO Replacement for OEM Part Number 02-10387-01

Semigroup’s Drop In Replacement Novellus / Lam Research 200mm ASSY, BELL JAR, Thin, Speed Dome for OEM Part Number 02-10387-01 Buy Outright.

Semigroup New Dome Specifications:

• Ceramic Material                                       99.8% Alumina
• Ribs, Copper Guides, Base Ring              G10
• Inside Radius                                            Ra80 -150 Ra Customer Specified
• Vacuum Tested                                         Yes
• Elastomer Pour Over                                Dow
• Electrically Tested                                     Yes
• Cleaned and Bagged in Clean Room       Yes
• Serial Number Lot Traceability                  Yes
• Custom Crate                                            Yes